本文得到了深圳市基础研究计划(JC201005270363A)、深圳市三大产业发展专项资金项目(JC201104220265A)的支持。
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彭本贤,俞 挺,于峰崎.低噪声电容式超声传感器的结构与电路设计 [J].集成技术,2012,1(3):15-19
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PENG Ben-xian, YU Ting, YU Feng-qi. The Design of Low Noise Circuit and Structure for CMUT Sensor[J]. Journal of Integration Technology,2012,1(3):15-19